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#Burger-Ping meets HaKe

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Schon einmal einen Chipdefekt gesehen? 3D-Elektronenmikroskopie blickt in GAA-Transistoren

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Mit Elektronen-Ptychografie machen Cornell-Forscher atomare Rauigkeiten in Gate-All-Around-Transistoren sichtbar. Die "Mouse Bites" entstehen an Grenzflächen und können die Chip-Performance sabotieren.

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